耐オゾン皮膜

無電解ニッケルをベースにフッ素樹脂をコーティングする表面処理です。
半導体製造装置は金属腐食などによるコンタミを嫌うので、オゾンガスや紫外線から守る必要があります。
こういった環境下での対応として、耐オゾン皮膜が用いられます。